揮發性有機廢氣(VOCs)傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，而光催化降解VOCs 又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優勢。

由于等離子體是一門包含放電物理學、放電化學、化學反應工程學及真空技術等基礎學科之上的交叉學科。因此，目前能成熟的掌握該技術的單位非常少，大部分宣傳采用低溫等離子技術處理廢氣的宣傳都不是真正意義上的低溫等離子廢氣處理技術。

不同的有機廢氣成分、濃度適用不同的有機廢氣處理方式，目前綜合技術成熟性、經濟性以及設備維護等多方面因素，應用最為廣泛的還是活性炭吸附法。但是活性炭吸附法存在適用期限到后廢活性炭洗脫回收成本大、存在污染轉移等缺點，因此新型吸附-催化燃燒法已在技改中或新建項目中被普遍應用。

而低溫等離子凈化設備因其后期維護成本低等優點正受到越來越多企業的青睞，但也存在設備投資成本高等問題。相信隨著技術和工業的發展，低溫等離子凈化技術會越來越成熟，設備投資也會隨之下降，屆時將會得到普遍應用。

低溫等離子治理方法的優勢：

與目前國內常用的異味氣體治理方法（活性炭吸附、液體吸收、燃燒法及生物法等）相比較，低溫等離子體工業廢氣處理設備和技術具有如下特點：

1、高科技創新產品：“低溫等離子體”技術是電子、化學、催化等綜合作用下的電化學過程，是一全新的技術創新領域。是依靠等離子體在瞬間產生的強大電場能量電離、裂解有害氣體的化學鍵能，從而破壞廢氣分子結構，達到凈化目的。

2、高效廢氣凈化：本設備能高效去除揮發性有機物（VOC）、無機物、硫化氫、氨氣、硫醇類等主要污染物，以及各種惡臭味，除臭效率可達98%以上，對于長期彌漫、積累的惡臭、異味，24小時內即可祛除，并且具有強力殺滅空氣中細菌、病毒等各種微生物能力，而且具有明顯的防霉作用。

3、無需添加任何物質：低溫等離子體廢氣處理是一種干法凈化過程，是一種全新的凈化過程，運行過程無需添加任何添加劑，不產生廢水、廢渣，不會導致二次污染。

4、適應性強：持久的凈化功能，無須專人看管。可適應高濃度、大氣量、不同氣態物質的凈化處理，可在高溫250℃,低溫-50℃的環境內凈化區均可運轉,特別是在潮濕,甚至空氣5、濕度飽和的環境下仍可正常運行，每天24小時連續工作，長期運行穩定可靠。

6、低耗節能：運行費用低廉、省電是“低溫等離子體”專利核心技術之一,處理1000M3/h臭氣，耗電僅0.25度。本設備無任何機械動作，自動化程度高,工藝簡潔,隨用隨開操作簡單方便.無需專人管理和日常維護，遇故障自動停機報警，只需作定期檢查。

7、設備組合性強：“低溫等離子體”設備重量輕，體積小，可按場地要求立放、臥放，可根據廢氣濃度、流量、成份進行串、并組合設計達到完全的廢氣凈化。

8、設備使用壽命長：本設備由不銹鋼材，銅材、鉬材、環氧樹脂等材料組成，抗氧化性強，對酸、堿氣體、潮濕環境等具有良好的防腐性能。使用壽命長達15年以上。

9、安全：“低溫等離子體”設備內使用電壓在36伏以下，安全可靠。低溫等離子體　等離子體內部產生富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，較終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。　適用范圍廣，凈化效率高，尤其適用于其它方法難以處理的多組分惡臭氣體，如化工、醫藥等行業。　占地面積小；電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用；運行費用低；反應快、停止十分迅速，隨用隨開。